반도체장비 세계 1위 ASML, 화성에 1조원대 R&D 시설 건립

[전자신문, 2024.07.04일자]

 

네덜란드 극자외선(EUV) 노광장비 세계 1위 기업 ASML이 차세대 EUV 활용 삼성전자 초미세 반도체 제조 공정 연구개발(R&D) 시설을 경기 화성시에 건립한다.

정명근 시장은 4일 방한 중인 프랭크 헤임스케르크 ASML 대외총괄부사장과 시청에서 간담회를 갖고 연구시설 건립에 필요한 행정 지원에 최선을 다하겠다는 입장을 밝혔다.

정명근 시장은 “화성 New 캠퍼스(업무시설·재제조시설 및 트레이닝센터 등)에 이어 'ASML-삼성전자 연구지원시설' 건립 부지로 화성시를 선택해 주신 것에 감사하다”며 “화성에서 추진하는 ASML 프로젝트의 성공을 위해 각종 인허가부터 밀착 지원하는 원스톱 서비스를 제공하겠다”고 말했다.

ASML의 삼성전자 연구지원시설 투자는 약 1조원 규모다. 이에 따라 민선8기 20조원 투자유치를 약속한 화성시는 절반인 10조원 투자유치를 달성했다.

프랭크 헤임스케르크 부사장은 “화성시의 전폭적인 지원으로 'ASML 화성 뉴 캠퍼스' 조성이 계획대로 순조롭게 진행되는 것에 감사하다”며 “삼성전자는 ASML의 중요 고객사로, 이번 연구지원시설 건립은 양사 간 기술동맹을 돈독히 하고 화성시 반도체 기업과 협력을 확대·강화하는 계기가 될 수 있을 것으로 기대한다”고 말했다.

이날 간담회에는 오니 얄링크 주한 네덜란드 부대사 등 대사관 관계자도 배석했다.

화성시는 이번 간담회를 계기로 네덜란드와 반도체 등 다양한 분야에서 교류 협력을 확대해 나가기로 했다.

한편 ASML은 지난달 28일 'ASML-삼성전자 연구지원시설' 건립을 위해 한국토지주택공사(LH)와 부지 매입 계약을 체결한 바 있다.